LensThick 非接觸式光學測厚儀

LensThick 非接觸式光學測厚儀

測量原理：

 LensThick非接觸式光學測厚儀利用低相干光干涉測量方法來精確測量厚度，以寬譜光源作為相干光源，其相干長度短，只有在測量光和參考光的光程相等時才能產生干涉峰值，因此具有很好的空間定位特性，測厚儀內置光學干涉儀，通過計算透鏡前后鏡面頂點對應干涉峰之間的距離變化可以得出透鏡的中心厚度。

典型應用:

光學元件和透鏡組件：測量單個鏡片以及鏡頭組包括空氣間隔

隱形眼鏡和人工晶狀體：測量中心厚度、矢高和群折射率

醫用導管窺鏡：可同時測量管壁厚、內徑和外徑

LCD、LED、OLED和AMOLED顯示屏：測量總厚度和各層厚度，包括LOCA（液體光學透明粘合劑）層

半導體：硅/砷化鎵晶片

拋光玻璃：測量化學腐蝕前后的厚度或拋光工藝，使玻璃板更薄、更輕。

    主要優勢：

     非接觸式測量，不會造成元件表面損壞或變形。

用于精確定位測量位置的可見光束。

最多可同時測量31層厚度。

最高精度±0.1微米。

測量重復性達±0.02微米。

基于內部固有長度標準，實時顯示測量數據。

測量結果可追溯至NIST標準。

測量最小物理厚度可達16微米（折射率1.5時）。

集成裝置，操作簡便。

設備介紹:

LensThick光學測厚儀的操作簡單，每次可輕松獲得可靠的厚度值。測量數據經過數字信號處理器計算，通過USB傳輸到PC，再以圖形的形式顯示在用戶界面，可直接讀取每層厚度值，操作更簡單、更直觀。

測量過程：

   （1）將光學測量頭對準被測產品。

   （2）激光通過光學測量頭照射到材料表面。

   （3）光學測量頭收集反射光并將其返回到系統的干涉儀進行分析。

   （4）測量數據通過USB傳輸到電腦。

   （5）LensThick軟件用于顯示測量結果、設置參數及輸出數據報告。

    測量軟件：

   光學測厚儀使用LensThick軟件可實時顯示被測試產品的厚度和干涉信號，以便實時優化。

   自動峰值模式：使用操作員創建的樣品設計文件，可以定義最多32個反射面（31層）的預期峰值位置，軟件可自動識別在規定的閾度內很接近預期峰值位置的峰值，從而計算并輸出每層的厚度。此外，軟件還帶有判據功能，即超出設計值的公差范圍，數據顯示為紅色。這些功能對質量控制是非?？焖儆行У?。

⑴ 定義為測量不確定度或最大厚度誤差，置信度≥99.7%。

⑵ 整個運行環境條件的不確定性。

⑶ 60分鐘測量周期的標準偏差。

⑷ 取決于被測材料在1.3μm波長下的反射率。該規格書是在4%反射條件下給出的。

 當反射條件較低時，重復性最壞會降低到約±0.15μm。

⑸ 特性性能，但不是一定的