發布時間： 2021-09-22
產品型號：
所 在 地： 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M7棟東5層
產品特點： 簡介：利用光的獨特性質精確測量厚度，非接觸式測量，不會造成元件表面損壞或變形。最多可同時測量31層厚度，最高精度±0.1微米，集成裝置，操作簡單。適用于光學元件、透鏡組件、隱形眼鏡及人工晶狀體、醫用導管窺鏡、顯示屏、半導體、拋光玻璃等各種厚度及空氣間隔測量。
設備原理
設備基于低相干干涉原理，采用非接觸式光學測量，并配備高精度移動平臺和視覺校正系統，自動測量產品的厚度及空氣間隔。
主要功能
非接觸式測量透鏡中心厚度
非接觸式測量微小鏡頭空氣間隔
自動上料—自動定位—自動測量—自動下料
UPH，單穴測量時間不大于4秒
測量精度高達±0.1 μm
設備特點
LensThick ATW配備晶圓測試模組，LensThick ATS配備單鏡片測試模組；
配備非接觸式光學測厚儀，測量精度高，速度快，且不會對樣品造成損傷；
采用大理石組合結構，穩定性高
XY平臺采用直線電機及高精度光柵尺，重復定位精度±0.001mm,位置精度±0.001mm；
采用CCD圖像識別定位，運用高精度算法，準確可靠；
測量時通過CCD圖像校正，保證測量中心位置準確；
主要配置/設備關鍵部件
非接觸式光學測厚儀
測量光程： 12mm/ 40mm/80mm
測量精度：
±0.1 μm/±1μm
測量重復性：
±0.02 μm/±0.05 μm
工作波長：
1310 nm 測量速度：
XYR平臺參數：
平面度：±0.005mm
直線度：±0.005mm
重復定位精度：±0.001mm
絕對位置精度：±0.001mm
視覺校正相機：
2000萬像素
低噪聲，高精度
工作環境及設備尺寸參數
工作電壓：220V±10%
工作環境：室溫-10℃—45℃，濕度≤95%；
環境相對濕度：在+40℃時 ≤90% R.H. （無冷凝）
外型尺寸：800×1200×1960?
設備總重量：約500kg
規格參數 | LensThick 系列 | |||||
型號 | 12-1UP | 40-1UP | 80-1UP | 12-1 | 40-1 | 80-1 |
厚度測量 | ||||||
方法 | 非接觸式光學干涉法 | |||||
精度 1,2 | ±0.1 μm | ±1 μm | ||||
重復性 3,4 | ±0.02 μm | ±0.05 μm | ||||
最大量程（光程）5 | 12 mm | 40 mm | 80 mm | 12 mm | 40 mm | 80 mm |
最小厚度6 | 16μm | 20μm | 24μm | 35μm | ||
測量頻率 | 20 Hz | 7 Hz | 4 Hz | 20 Hz | 7 Hz | 4 Hz |
單位 | mm、μm | |||||
溯源 | NIM認證標準 | |||||
環境 7 | ||||||
熱機時間 | 無 | |||||
溫度 | 15℃到30℃（存儲-10℃到+70℃） | |||||
壓力 | 500 — 900 mm Hg | |||||
濕度 | 在+40℃時≤90% R.H.（無冷凝） | |||||
主機尺寸和重量 | ||||||
尺寸 | 570mm×700mm×590mm（長×寬×高） | |||||
重量 | 60㎏ | |||||
支架尺寸和重量 | ||||||
尺寸 | 330mm×430mm×685mm（長×寬×高） | |||||
重量 | 20㎏ | |||||
其他 | ||||||
功率 | 90-264 VAC，47-63 Hz，80 VA最大 | |||||
儀器接口 | USB2.0及以上接口 最多可支持8通道測量 | |||||
電腦配置 | Windows 7/8/10,1GB內存，USB2.0以上接口，顯示器，鍵盤，鼠標 | |||||
質保期 | 1年 | |||||
⑴ 定義為測量不確定度或最大厚度誤差，置信度≥99.7%。
⑵ 整個運行環境條件的不確定性。
⑶ 60分鐘測量周期的標準偏差。
⑷ 取決于被測材料在1.3μm波長下的反射率。該規格書是在4%反射條件下給出的。
當反射條件較低時，重復性最壞會降低到約±0.15μm。
⑸ 折射率為1時。
⑹ 折射率為1.5的材料。
⑺ 特性性能，但不是一定的。
地址：北京市朝陽區酒仙橋東路1號M7棟東5層
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