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            品質是生命,服務是宗旨

            Quality is life, service is the tenet

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            LensThick 全自動非接觸式光學測厚儀

            發布時間:  2021-09-22

            產品型號:  

            所  在  地:  北京市朝陽區酒仙橋東路1號M7棟東5層

            產品特點:  簡介:利用光的獨特性質精確測量厚度,非接觸式測量,不會造成元件表面損壞或變形。最多可同時測量31層厚度,最高精度&#177;0.1微米,集成裝置,操作簡單。適用于光學元件、透鏡組件、隱形眼鏡及人工晶狀體、醫用導管窺鏡、顯示屏、半導體、拋光玻璃等各種厚度及空氣間隔測量。

            (聯系我時,請說明是在化工儀器網上看到的信息,謝謝?。?/div>
            產品概述

            LensThick ATW/ATS 系列全自動光學測厚儀

            設備原理

            設備基于低相干干涉原理,采用非接觸式光學測量,并配備高精度移動平臺和視覺校正系統,自動測量產品的厚度及空氣間隔。

            主要功能

            非接觸式測量透鏡中心厚度

            非接觸式測量微小鏡頭空氣間隔

            自動上料—自動定位—自動測量—自動下料

            UPH,單穴測量時間不大于4秒

            測量精度高達±0.1 μm

            設備特點

            LensThick ATW配備晶圓測試模組,LensThick ATS配備單鏡片測試模組;

            配備非接觸式光學測厚儀,測量精度高,速度快,且不會對樣品造成損傷;

            采用大理石組合結構,穩定性高

            XY平臺采用直線電機及高精度光柵尺,重復定位精度±0.001mm,位置精度±0.001mm;

            采用CCD圖像識別定位,運用高精度算法,準確可靠;

            測量時通過CCD圖像校正,保證測量中心位置準確;

            主要配置/設備關鍵部件

            • 非接觸式光學測厚儀

            測量光程: 12mm/ 40mm/80mm

            測量精度:

            ±0.1 μm/±1μm

            測量重復性:

            ±0.02 μm/±0.05 μm

            工作波長:

            1310 nm

            測量速度:

            20 Hz/ 7Hz/ 4Hz



            • XYR平臺參數:

            平面度:±0.005mm

            直線度:±0.005mm

            重復定位精度:±0.001mm

            絕對位置精度:±0.001mm

            • 視覺校正相機:

            2000萬像素

            低噪聲,高精度

            工作環境及設備尺寸參數

            工作電壓:220V±10%

            工作環境:室溫-10℃—45℃,濕度≤95%;

            環境相對濕度:在+40℃ ≤90% R.H. (無冷凝)

            外型尺寸:800×1200×1960?

            設備總重量:約500kg

            610a38c215945.jpg

            規格參數

            LensThick 系列

            型號

            12-1UP

            40-1UP

            80-1UP

            12-1

            40-1

            80-1

            厚度測量

            方法

            非接觸式光學干涉法

            精度 1,2

            ±0.1 μm

            ±1 μm

            重復性 3,4

            ±0.02 μm

            ±0.05 μm

            最大量程(光程)5

            12 mm

            40 mm

            80 mm

            12 mm

            40 mm

            80 mm

            最小厚度6

            16μm

            20μm

            24μm

            35μm

            測量頻率

            20 Hz

            7 Hz

            4 Hz

            20 Hz

            7 Hz

            4 Hz

            單位

            mm、μm

            溯源

            NIM認證標準

            環境 7

            熱機時間

            溫度

            15℃到30℃(存儲-10℃到+70℃)

            壓力

            500 — 900 mm Hg

            濕度

            在+40℃時≤90% R.H.(無冷凝)

            主機尺寸和重量

            尺寸

            570mm×700mm×590mm(長×寬×高)

            重量

            60㎏

            支架尺寸和重量

            尺寸

            330mm×430mm×685mm(長×寬×高)

            重量

            20㎏

            其他

            功率

            90-264 VAC,47-63 Hz,80 VA最大

            儀器接口

            USB2.0及以上接口

            最多可支持8通道測量

            電腦配置

            Windows 7/8/10,1GB內存,USB2.0以上接口,顯示器,鍵盤,鼠標

            質保期

            1年


            ⑴ 定義為測量不確定度或最大厚度誤差,置信度≥99.7%。

            ⑵ 整個運行環境條件的不確定性。

            ⑶ 60分鐘測量周期的標準偏差。

            ⑷ 取決于被測材料在1.3μm波長下的反射率。該規格書是在4%反射條件下給出的。

             當反射條件較低時,重復性最壞會降低到約±0.15μm。

            ⑸ 折射率為1時。

            ⑹ 折射率為1.5的材料。

            ⑺ 特性性能,但不是一定的。




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